มอเตอร์ขดลวดเสียงเชิงเส้นความแม่นยำสูงสำหรับการควบคุมการเคลื่อนที่ขนาดเล็กของเซมิคอนดักเตอร์

ในกระบวนการผลิตครึ่งตัวนํา เช่น การประมวลผลแผ่น, การทําเลหะ, การตรวจสอบ, และการบรรจุ, การควบคุมการตั้งตําแหน่งขนาดเล็กต้องการความแม่นยําสูงมาก, การตอบสนองอย่างรวดเร็วและความมั่นคงในระยะยาวมอเตอร์สายเสียงโค้ล, ที่มีการทํางานโดยตรงและผลประกอบการแบบไดนามิกที่ดีที่สุด, ได้กลายเป็นการแก้ไขการทํางานที่เหมาะสมสําหรับการควบคุมการขยับขนาดเล็กในอุปกรณ์ semiconductor.

เครื่องยนต์สายเสียง สายเสียง สร้างแรงผลักดันโดยตรง ผ่านแรงไฟฟ้าแม่เหล็กการเคลื่อนไหวเชิงเส้นที่ไม่มีการกระตุ้นกลับกัน ด้วยความละเอียดการตั้งตําแหน่งในระดับไมโครเมตร หรือแม้แต่ระดับนาโนเมตรเมื่อเปรียบเทียบกับกลไกที่นําสกรูหรือ servo-driven แบบดั้งเดิม มอเตอร์เสียงสายให้ความแม่นยําการตั้งตําแหน่งและการซ้ําในระยะเวลาสั้นพวกเขามีความเหมาะสมโดยเฉพาะอย่างยิ่งสําหรับการปรับสัดส่วน wafer, การโฟกัสแสง, การควบคุมการติดต่อกับโซนด์, และระยะการตั้งตําแหน่งความแม่นยํา

ในการสแกนความเร็วสูงและการใช้งานการชดเชยแบบไดนามิก มอเตอร์กลมเสียงเส้นตรงให้ความเร่งสูงและการตอบสนองความถี่สูงทําให้สามารถติดตามคําสั่งการควบคุมได้อย่างแม่นยํา และชดเชยได้อย่างมีประสิทธิภาพสําหรับความผิดพลาดของระบบและความเสียหายจากสิ่งแวดล้อมการเคลื่อนไหวที่เรียบร้อยและสั่นสะเทือนต่ําของพวกเขาช่วยลดการรบกวนกระบวนการในการผลิตโครงสร้างเล็ก ๆ และรับประกันผลงานกระบวนการที่มั่นคง