มอเตอร์วอยซ์คอยล์แบบหมุนความแม่นยำสูงสำหรับอุปกรณ์ตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ
ติดต่อฉันเพื่อรับตัวอย่างและคูปองฟรี
วอทส์แอพพ์:0086 18588475571
วีแชท: 0086 18588475571
สไกป์: sales10@aixton.com
หากคุณมีข้อสงสัย เราพร้อมให้ความช่วยเหลือทางออนไลน์ตลอด 24 ชั่วโมง
x| น้ำหนัก | 65 กรัม | ความยาว | 81มม |
|---|---|---|---|
| แรงดันไฟฟ้า | 8.4V | รุ่นสินค้า | VARS0120-020-00A |
| แรงสูงสุด | 1.2 นิวตันเมตร | จังหวะทั้งหมด | 20 ° |
| พิมพ์ | ไมโครมอเตอร์ | วัสดุที่อยู่อาศัย | อลูมิเนียม |
| ประเภทการเคลื่อนไหว | โรตารี |
| แบบอย่าง | ราคา | |
|---|---|---|
| VARS0022-0032-00B | 210 ดอลลาร์ | |
| VARS0048-0030-00A | 175 ดอลลาร์ | |
| VARS0706-0014-00A | $150 |
คุณสมบัติ:
- ชื่อสินค้า: มอเตอร์ขดลวดเสียงแบบหมุน
- น้ำหนัก: 65g
- ขนาด: 81*73.4*32mm
- ชื่อ: มอเตอร์ขดลวดเสียงแบบหมุน
- ระยะชัก: 20°
- อายุการใช้งาน: 10000 ชม.
- ระดับสุญญากาศ: 10⁻⁶ Pa
- ความทนทานต่อรังสี: ≥10⁵ Gy
- ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง: ±0.08°
- ช่วงแรงบิด: 1.2 N·m
- ความเร็วในการหมุน: 100-800 รอบต่อนาที
- ระดับการป้องกัน: IP67 (ซีลสุญญากาศ)
- คุณสมบัติพิเศษ: มอเตอร์ขดลวดเสียงโค้ง, VCM หมุน, มอเตอร์ขดลวดเสียงแบบหมุน
พารามิเตอร์ทางเทคนิค:
| พารามิเตอร์ | รายละเอียด |
|---|---|
| ประเภท | มอเตอร์ขดลวดเสียงแบบหมุน (Rotary VCM, Rotary voice coil Actuator) |
| การรับประกัน | 1 ปี |
| ระยะชัก | 20° |
| แรงบิดสูงสุด | 1.2N-m |
| เสียงรบกวน | ต่ำ |
| ขนาด | 81*73.4*32mm |
| ความยาว | 81mm |
| ความเร็ว | สูง |
| น้ำหนัก | 65g |
| แรงดันไฟฟ้า | 8.4V |
| รุ่นสินค้า | แรงบิดสูงสุด (N-m) |
แรงบิดต่อเนื่อง ที่ 25℃(N-m) |
ระยะชักทั้งหมด องศา ( องศา) |
แรงดันไฟฟ้าสูงสุด (V) |
ค่าคงที่ Back EMF (V/m/s) |
น้ำหนักของขดลวด(g) | ความยาว (mm) |
ความกว้าง (mm) |
ความสูง (mm) |
| VARS0008-026-00A | 0.08 | 0.05 | 26 | 6.4 | 0.05 | 11.7 | 35 | 39.8 | 36.1 |
| VARS0017-090-00A | 0.17 | 0.1 | 90 | 11.1 | 0.1 | 17.8 | 70 | 41.5 | 39 |
| VARS0022-032-00A | 0.22 | 0.12 | 32 | 15.5 | 0.16 | 21.5 | 60 | 60 | 36 |
| VARS0042-040-00A | 0.42 | 0.38 | 40 | 3.5 | 0.12 | 38 | 82 | 53.6 | 30.3 |
| VARS0077-020-00A | 0.77 | 0.63 | 20 | 6.7 | 0.24 | 66 | 75 | 50 | 30 |
| VARS0084-030-00A | 0.84 | 0.6 | 30 | 6.3 | 0.2 | 50.4 | 75 | 48.9 | 30.6 |
| VARS0120-020-00A | 1.2 | 0.5 | 20 | 8.4 | 0.67 | 65 | 81 | 73.4 | 32 |
| VARS0350-060-00A | 3.5 | 1.6 | 60 | 26.3 | 0.4 | 350 | ∮169.6 | ∮169.6 | 63 |
| VARS0706-014-00A | 7.1 | 2.1 | 14 | 52.4 | 1.03 | 225.5 | 115 | 65 | 54.5 |
| VARS4520-030-00A | 45.2 | 19 | 30 | 71.5 | 4.3 | 1350 | ∮240 | 78 |
การใช้งาน:
ในกระบวนการตรวจสอบข้อบกพร่องของเวเฟอร์และการบรรจุชิป มอเตอร์ขดลวดเสียงแบบหมุนที่มีความแม่นยำในการวางตำแหน่งเชิงมุมภายใน ±0.1° จะขับเคลื่อนหัววัดตรวจสอบเพื่อทำการสแกนแบบหมุนความถี่สูงและแอมพลิจูดเล็กๆ ทั่วพื้นผิวเวเฟอร์ การออกแบบโดยไม่มีโครงสร้างการส่งผ่านทางกลไกช่วยขจัดข้อผิดพลาดจากแบ็คแลช และเมื่อรวมกับความเร็วในการตอบสนองในระดับมิลลิวินาที จะสามารถจับภาพรายละเอียดเล็กๆ น้อยๆ ของวงจรชิปได้อย่างแม่นยำ ทำให้ตรวจจับข้อบกพร่องในระดับนาโนเมตรได้ และให้การสนับสนุนหลักสำหรับการควบคุมผลผลิตในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
![]()

